진공 플라스마 시스템 Aurora 표준

Aurora 표준 시스템(unit)은 복잡한 부품의 클리닝 및 작동을 위해 설계 되었습니다. 시스템의 우선적인 플라스마 증착 처리와 특수한 측벽 전극이 다수의 선반 및 대형 부품에 균일하고 안전한 처리를 제공 합니다.

시스템 표면 처리 공정은 주로 전자 장치 및 의료 장치의 가공에 사용 됩니다. PLC 제어는 중요 공정의 제어 및 모니터링이 구현 되도록 합니다. Aurora 표준 시스템은 이러한 기능을 통해 공정 레시피 저장 기능과 더불어 산업 제품 생산과 R&D 연구실을 위한 다목적 도구로서 활용 됩니다. 

Aurora Standard system with touchscreen display
Aurora 표준 시스템의 플라즈마 챔버 내부 모습

Aurora 표준 시스템 - 주요 특징

  • 복잡한 부품의 균일한 처리를 위한 우선적인 플라스마 증착 처리
  • 다중 선반 또는 대형 부품 표면 처리를 위한 특수한 측벽 전극
  • 챔버 크기 : 21.25" x 15.74" x 16.5 "
  • 엄격한 공정 제어를 위한 터치스크린 디스플레이를 갖춘 PLC 제어
  • 암호 설정으로 공정 레시피 저장 및 보호
  • 정확한 가스 흐름과 혼합을 위한 다중 질량 유량 제어기
  • 1000 와트, 13.56 RF 제너레이터 및 자동 매치 네트워크

연락처

저희에게 연락하세요. 귀하의 문의를 기다리고 있습니다.

질문이나 제안이 있으시면 언제든지 문의하세요. 우리는 귀하의 문의를 기다리고 있습니다. 여기에서 귀하의 문의에 대한 연락처를 확인하실 수 있습니다.