저압 플라즈마 시스템 Aurora Plus

Aurora Plus는 박막 플라스마 코팅의 첨단 증착을 위한 플랫폼입니다. 플라스마 PECVD 증착 공정으로 낮은 CoF, 친수성 및 소수성 코팅과 같은 코팅 옵션 및 특성을 제공 합니다. 

이러한 이유로 자동차 산업, 의료 기기 기술 및 실링 시스템 제조 등에서 수많은 응용 분야에 적합한 공정 입니다. 시스템의 엄격한 공정 제어 및 레시피 저장 기능은 R&D 응용 뿐 아니라 산업 계열 생산에서의 안전한 가공을 보장합니다.

 

Aurora Standard Low Pressure System with PECVD Coating Option
고급 플라즈마 증착을위한 Aurora Plus 시스템
터치 스크린 디스플레이를 통한 완벽한 프로세스 제어

Aurora 플러스 - 주요 특징

  • 복잡한 부품의 균일한 처리를 위한 우선적인 플라스마 증착 처리
  • 다중 선반 또는 대형 부품 표면 처리를 위한 특수한 측벽 전극
  • 챔버 크기 : 21.5" x 15.74" x 16.5 "
  • 엄격한 공정 제어를 위한 터치스크린 디스플레이를 갖춘 PLC 제어
  • 암호 설정으로 공정 레시피 저장 및 보호
  • 정확한 가스 흐름과 혼합을 위한 다중 질량 유량 제어기
  • 1000 와트, 13.56 RF 제너레이터 및 자동 매치 네트워크
  • 열 제어 액체 전구체 전달 추가
  • 제네레이터 펄싱 옵션
  • 가열 챔버 옵션

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