Aurora 진공 플라스마 시스템

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진공 플라스마 시스템 Aurora LC (대용량)

Aurora LC는 중요하고 균일한 클리닝, 활성화 및 복잡한 부품의 박막 코팅을 위한 대용량 플라스마 시스템입니다. 전폭 개방 전면 도어와 공간이 넓은 챔버 내부는 부품 크기 및 고정 장치의 유연성을 제공 합니다. 

시스템 표면 처리 공정은 항공 우주, 자동차 및 의료 기기의 가공에 주로 사용됩니다. PLC 제어로 고급 공정 제어 및 모니터링을 구현할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 공정 레시피 저장 기능과 더불어 산업용 계열 생산 뿐만 아니라 대규모 R&D 응용 분야를 위한 다목적 도구로서 활용 됩니다. 

복잡한 대형 부품의 표면 처리를위한 Aurora LC
Aurora LC Large Capacity System
전폭 개방 전면 도어가있는 Aurora LC

Aurora LC - 주요 특징

  • 복잡한 대형 부품의 균일한 처리를 위한 우선적인 플라스마 증착 처리
  • 챔버 내부는 부품 크기 및 고정 장치의 유연성을 허용
  • 자동화 옵션이 있는 전폭 오프닝 프런트 도어
  • 주요 공정 제어를 위한 터치 스크린 디스플레이를 갖춘 PLC 제어
  • 시스템 제어 : 자동/수동 작동
  • 암호 설정으로 공정 레시피 저장 및 보호
  • 챔버 크기 A12+ A7 : 77” w x 56”d x 30”h
  • 정밀한 가스 흐름과 혼합을 위한 다중 질량 유량 제어기
  • 3000 와트, 13.56 RF 제너레이터 및 자동 매치 네트워크

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